重生99做汽车巨头 第1029节 (第2/6页)

的则是气体，芯片厂每天消耗很多特种气体，其中很大一部分就用于刻蚀。”

    “这些气体在精确配比后，被通入反应腔内，再用电容或电感耦合的方式，让气体完全或部分电离，形成等离子体或离子束，经过电场加速，射向硅片进行刻蚀，这是一种兼具物理与化学属性的雕刻方式。”

    “主流的芯片制程中，超过90％的芯片刻蚀都是干法，因为它的方向性好，气体配比和射频电源也能实现更精密的调控。”

    “至于缺点，抛开技术的复杂度不谈，主要有两个，一个是贵，一个是慢。”

    “一台进口刻蚀机的价格，数百万美元，那比光刻机是便宜多了，但是不同介质的刻蚀，需要买不同的刻蚀机。”

    “而且工艺中，刻蚀的时长远超光刻，毕竟人家是用光来刻嘛。”

    “因此产线上一台光刻机，要配多台刻蚀机，按照设备总成本来计算，两者的开销差不多。”

    “相比光刻机对光线的精确控制，蚀刻机更多的是需要对气体进行精确控制，两者的精度要求虽然差不多，但是生产难度却是完全不同的。”

    “光刻机里头，光学系统的加工难度是非常高的，特别是里面的镜片，国内还真是很难找到符合要求的厂家。”

    “你找蔡司购买的话，人家不一定会卖给你跟阿斯麦一个水平的产品。”

    “但是蚀刻机的话，我们不需要这么复杂的东西，只要设备设计的足够精妙，零件的加工精度可以符合要求，就有希望生产出能够加工7纳米的蚀刻机出来。”

    尹志强解释了一大顿，曹阳听懂了一部分。

    不过他不担心！

    原本没有南山集团帮忙，中微半导体都